东莞阳光网6月20日讯 近日（6月16日），松山湖材料实验室精密仪器研发团队成功自研台阶仪，实现了国产化台阶仪零的突破，加速国产替代。

　　在松山湖材料实验室精密仪器研发团队实验室里，一台与打印机大小的仪器，放置在只有书桌一半大的桌子上，它的名字叫台阶仪，工程师们用它对材料样品进行微米级的精密测量。台阶仪，又名探针式表面轮廓仪，用于样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量，是微电子、半导体、医疗、科学研究和材料科学等领域不可缺少的关键测量设备。长期以来，此类仪器被美国和日本厂商垄断，国内尚无厂商可提供同类产品，“我们主要依赖于进口的设备，国内的话目前是没有。”松山湖材料实验室精密仪器研发团队工程师徐金林表示。

　　2020年，松山湖材料实验室精密仪器研发团队对台阶仪研发项目发起挑战，2022年6月，正式机台投入使用。

　　“台阶仪研发的‘四个超’，超精细的运动控制，超精密位移传感，超低噪声信号采集以及超高平整度零部件。

　　这四个关键技术，实现了台阶仪的整机开发。”松山湖材料实验室精密仪器研发团队负责人许智表示，“从应用的场景上讲，是可以替代进口。”

　　对比同类进口设备，国产化台阶仪可为企业降低近四成成本。接下来，松山湖材料实验室精密仪器研发团队将对台阶仪开展进一步创新研究，迭代开发出更加贴合企业的台阶仪。

　　松山湖材料实验室精密仪器研发团队负责人许智表示：“肯定是降低了用户的采购成本，我们的平均售价是进口产品的大概六到七成，未来我们还将推出更经济的型号，可能只有进口产品的一半左右。”